排煙系統(tǒng)在潔凈廠房?jī)?nèi)的設(shè)置
隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對(duì)實(shí)驗(yàn)、生產(chǎn)和研究的環(huán)境要求越來越高,空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也越來越廣泛,其中對(duì)于空氣凈化的要求越來越多。潔凈室對(duì)空氣中懸浮微粒數(shù)量控制要求嚴(yán)格,潔凈室被要求盡量做到密閉,以保證有效地阻止室外污染侵入室內(nèi)(或有效地防止室內(nèi)污染逸至室外)。潔凈室要求房間密閉,不可能再采用一般廠房常用的開窗方式進(jìn)行排煙,其排煙系統(tǒng)需要可靠的保證。
現(xiàn)行《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)排煙的規(guī)定是要在疏散走道內(nèi)設(shè)機(jī)械排煙系統(tǒng),現(xiàn)行的《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》規(guī)定丙類廠房中面積大于300m2且可燃物較多的或經(jīng)常有人停留的房間需設(shè)置排煙系統(tǒng),這些要求在現(xiàn)行的潔凈室設(shè)計(jì)中均能得到良好實(shí)施。
送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù),這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量,是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言,一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右,而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房?jī)?nèi),為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求,需要保證很高的換氣次數(shù),致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1,10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1,100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。