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潔凈廠房空調系統(tǒng)特點
潔凈廠房空調系統(tǒng)與一般民用建筑的空調系統(tǒng)的不同，它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導致芯片電路短路。如今，半導體集成電路的發(fā)展突飛猛進，近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的處理器芯片，把生產環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外，潔凈廠房空調系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外，還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。
同時，由于半導體器件生產工藝的特點，要求潔凈廠房內全天（24h)保持相應的潔凈度，目此，潔凈空調系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需每天24
h運行，這也與其他空調系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。
潔凈空調系統(tǒng)設計
3.1 潔凈冷負荷計算
夏季冷負荷包括:維護結構冷負荷、人員冷負荷、照明冷負荷、生產設備冷負荷、新風冷負荷、風管冷損、空調機組風機負荷等。經計算:100級區(qū)域冷負荷指標為880W/m2,1000級冷負荷指標:480W/m2。普通區(qū)域(testarea)冷負荷指標:600W/m2(普通區(qū)域放置測試設備,發(fā)熱量較大)。
3.2 100級、1000級潔凈房的空調方式潔凈房采用FHU+DCU+FFU的空調方式,潔凈房空調及氣流組織形式見圖1。
其中,FHU為新風機組(Freshairhandingu2nit),另外,新風機組對新風采取了初、中、高過濾處理。新風機組包括:初效段,表冷段,中效段,加熱段(廠家有熱水系統(tǒng),采用熱盤管),加濕段(廠家有蒸氣),高段。其中,空氣清洗段廠家先要求預留,以后再增加新風機組擔負潔凈房的濕度控制,保持潔凈房的正壓和人員新風需求。
凈化工程行業(yè)是服務于高科技、國計民生的常青產業(yè)，科技的發(fā)展與居民日常生活質量的提升無不有賴于凈化技術發(fā)展作為其幕后的支持。近年來，隨著人們生活水平的逐步提高，無塵車間相關技術也從服務技術與產業(yè)，逐漸向服務普通工作和生活領域擴展，在食品生產和流通各環(huán)節(jié)、裝備制造、商業(yè)寫字樓、大型數(shù)據(jù)中心、大型活動場所，甚至美容化妝等領域都取得了廣泛的應用。
無塵車間工程是指按照客戶的要求，提供對微粒、有害空氣等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產品生產(如硅芯片等)和服務提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標，使相關產品和服務能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產和操作，從而達到提高產品生產的良品率，改善和提升相關服務質量的目標。
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