無塵凈化廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標志的生產(chǎn)廠房。根據(jù)《潔凈廠房沒計規(guī)范》GB50073中定義:潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間;潔凈區(qū)是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。潔凈室和潔凈區(qū)的建造和使用應減少空間內誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內或區(qū)域空間內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
潔凈區(qū)可以是開放式也可以是封閉式。潔凈室的分類方法很多,但的是按潔凈室的氣流流型和潔凈室的使用性質來進行分類。
潔凈室火災危害預防及處理:
警報設備:
a. 裝置位置:
1、高度:潔凈室內部高度通常較一般建筑為大,在選用探測器時應將天花板高度考慮在內。
2、通風換氣設備:裝設偵煙式探測器時,應設于煙霧流動必經(jīng)途徑,裝設感熱式探測器時,應設于易蓄熱處,因此通風換氣設備之出風口或回風口,應注意與探測器保持一定距離,方能迅速感應及動作。
3 、層流現(xiàn)象:潔凈室內因換氣頻繁,平均約六秒鐘席卷整個空間一次,同時間單位內的空氣流動量高出一般建筑物甚多,因此空氣流動的層流現(xiàn)象應考慮在內,以避免探測器無法有效測知火災,形同虛設。
b.種類:火焰式探測器、偵煙式探測器、極早期探測裝置,潔凈室防災時,重點在于早期發(fā)現(xiàn),因此靈敏度越高越好,以期災害發(fā)生初期便能反應,甚至在尚未發(fā)火前便能測知有發(fā)火的可能性,如極早期探測裝置便是以此為理念的設計。
潔凈廠房空調系統(tǒng)特點
潔凈廠房空調系統(tǒng)與一般民用建筑的空調系統(tǒng)的不同,它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內,在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導致芯片電路短路。如今,半導體集成電路的發(fā)展突飛猛進,近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的處理器芯片,把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外,潔凈廠房空調系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外,還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。
同時,由于半導體器件生產(chǎn)工藝的特點,要求潔凈廠房內全天(24h)保持相應的潔凈度,目此,潔凈空調系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需每天24
h運行,這也與其他空調系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。